Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования.
Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования
Название: Технологическое оборудование для микроэлектроники
Автор: Д.В. Камлюк
Язык: Русский
Издательство: РИПО
Жанр: Электроника
Год выхода: 2014
Формат: pdf
Страниц: 391
Размер: 63,8 MB
Скачать Д.В. Камлюк - Технологическое оборудование для микроэлектроники
| 
